适用于真空系统内仪表或系统管路隔离,也可作为泄放、旁通及粗抽阀使用。

真空系统内仪表对系统进行压力控制时,VWB 系列具有较小的阀内容积,有助于缩短仪表响应时间;

真空系统对大气泄放时,使用 VWB 系列将传感器与系统腔室隔离,防止电容式薄膜真空计膜片过压;

真空系统对压力进行监测时,使用 VWB 系列将仪表与工艺过程隔离,以防止过程气体污染压力表;

对真空系统进行软启动时,在旁通管路设置小流导的 VWB 系列阀门,允许系统由大气压缓慢降至设定真空度,防止真空室内颗粒卷起。

特征

外形紧凑,阀内容积小
采用 316L SS 成型波纹管,减少颗粒产生和残留
阀体采用钨极惰性气体保护电弧焊(TIG),减少流道内死区,确保洁净度
气动型常温洁净环境下的寿命可达 1,000,000次
角型和直线型结构可选,可任意方向安装
多种尺寸和形式的端口可选
气动或手动执行器可选

查看紧凑型真空波纹管阀,VWB 系列产品

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